THERMOANEMOMETRIC SENSOR BASED ON SI

Article Sidebar

PDF (Russian)
Published: 2023-10-05
DOI: https://doi.org/10.66073/researchfocus.v2i9.445
Keywords:
sensor, flow, doping, silicon, nickel, temperature, diffusion, sensitivity, resistivity

Main Article Content

Mannanov M.I.
Research Institute of Semiconductor Physics and Microelectronics at the National University of Uzbekistan (Tashkent), Uzbekistan

Abstract

A description is given of flow velocity sensors for continuous media based on silicon with nanoclusters of nickel atoms, which possess high sensitivity and stability of output parameters. The mode of nickel diffusion into silicon for creating a flow velocity sensor of continuous media is considered. The electrophysical parameters of the sensor have been investigated.

Article Details

Issue

Vol. 2 No. 9 (2023): Research Focus International Scientific Journal. Volume 2, Issue 9 (2023)

Section

Articles
Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.

How to Cite

THERMOANEMOMETRIC SENSOR BASED ON SI. (2023). Research Focus International Scientific Journal, 2(9), 40-44. https://doi.org/10.66073/researchfocus.v2i9.445

References

Бахадирханов М.К.,Илиев Х.М.,Мавлонов Г.Х.,Мамаджанов Х., Зикрил-лаев Н.,АлипбоевТ., Бабанов Д «Особенности электри-ческих и фотоэлектрических свойств кремния с многозарядными кластерами примесных атомов» /международная конференция. Бишкек, 2008.-с.34-35.

Маннанов М.И. Электрофизические свойства кремния, легированного примесью Никелья методом диффузии // «Приборы» Международное научно-техническое общество приборостроителей и метрологов. (Россия) №11 (269), 2022, с.37-43. [IF: 0,19]

King L.V. On the convection of heat from small cylinders in a stream fluid determination of the convection constants of small platinum wires with application to the hot-wire anemometry // Phil. Trans. Roy. Soc. London, A.214.-1914.-P.393-432.

Морозов-Ростовский Г.П. Термоанемометрические пленочные преобразователи // Измерительная техника. – 1968 - №5-С.99.

3.Ференец В.А.Полупроводниковые струйные термоанемометры.М.:Энергия,1972,113с.

Корякова О.Н., Кузьмин В.А. Термоанемометры постоянной температуры: "Измерители расхода жидкости, газа, пара", М., 1973 г., с.56-59.

habr.com›ru/company/efo/blog/280031/

Болтакс Б.И.Диффузия в полупроводниках. М.: Наука,1961.- с.421

М.К.Бахадирханов.,К.С.Аюпов.,Э.У.Арзукулов.,С.Н.Сражев,Т.У.Тошбоев. Термические свойство кремния с кластерами атомов никеля// Физика издание томского госуниверситета. 2008.-№11,3